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kSA ICE原位外延生长监控系统落户美国圣地亚国家

发布者::admin   发布时间: :2015-07-29 16:38 浏览次数: :

 

    近期,美国圣地亚国家实验室购置了一套kSA ICE外延生长控制系统,安装在EMCORE D-125 MOCVD系统上。

 

    kSA ICE是一款专为MOCVD设计的模块化实时、原位监测系统,整合多项kSA测试技术于单个光学探头,能够实时原位监测:光学反射率、薄膜生长速率、薄膜厚度、实时温度、基片表面曲率、薄膜应力等在MOCVD实时生长、退火处理等过程中。每项测试功能实现模块化设计,并且kSA ICE系统可完全依照用户的需求进行配置。

Figure 1 显示,kSA ICE同时获得的三个不同波长405nm/660nm/960nm的反射率测试结果,该图由美国圣地亚国家实验室实时监测GaN于蓝宝石衬底生长过程中测试获得。如图,405nm波长光的反射比没有干涉振荡,因为只有第一个反射界面的被检测到,这表明透射进入GaN膜层的光将被吸收,因为405nm光的能量高于GaN膜层的带隙。这项最新的发现将被用于well/barrier沉积层的监测,进而揭示薄膜表面和界面质量的差异,这些结果是波长更长的光无法获得的。通过对比每次well/barrier沉积过程中的405nm光的反射比数据,很可能对提升器件的批量生产能力和性能的可再现性起到关键作用。

 


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