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产品介绍:

石墨盘温度测量系统

发布者::admin  发布时间: :2018-06-06 10:29  浏览次数: :
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产品介绍:
详细说明:

技术介绍:系统利用两个温度传感器同时通过MOCVD 设备的可视窗口扫描石墨盘,进行温度测量。在单次测量时,传感器探头从石墨盘中心逐渐扫描到边缘,同时,整个盘以一定转速在旋转,所以,可快速、轻易、精确地得到整盘的温度分布图;

 

应用范围:适用于Veeco K465i 和EPIK700MOCVD,以及其他品牌类似系统,可实时速对石墨盘的整体温度分布进行Mapping 测量,分析盘面温度的分布均匀性;有帮于客户调整加热区域,改善并优化工艺,以提高产品质量和器件性能。

 

技术指标及特点:

1. 适配MOCVD 型号:Veeco K465i 及EPIK700 以及其他品牌类似系统;

2. 扫描范围:全盘扫描,自定义部分区域扫描;

3. 温度范围:530℃-1250℃(可选更高);

4. 温度分辨率:530-700℃:±1℃;700-1250℃:±0.3℃;

5. 扫描分辨率:用户自定义,通常设置为径向扫描步进:1mm,角度分辨率:0.3°或更高;

6. 扫描时间:与石墨盘旋转速度有关,例如:盘转速为600rpm,径向扫描步进为1mm 时,整盘扫描时间93s;可预设扫描开始时间或两次扫描时间间隔,以便与薄膜生长状态相关联;

7. 温度分析功能:温度2D 或3D 直观图形显示及统计分析,定义的半径或直径上的径向温度分布,指定半径上的温度分布并与RT 数据进行比对,目标区域放大分析,Crosshair 径向分析,石墨盘每个pocket 温度统计分析(最大值,最小值、平均值及标准偏差)。

8. 温度校准:既可校准到已知温度设定点,也可使用kSA Spectra Temp 温度测温工具校准到绝对温度。


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