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电阻率测试仪

发布者::admin  发布时间: :2016-03-01 12:14  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

该测试系统是韩国标准科学研究院和韩国AIT公司共同开发的,是半导体生产过程中必不可少的设备之一!

特点:
-测量晶元面电阻等;
-手动测量,操作便捷;
-多功能测量;

-测量表面电阻和电阻率(ohm, ohm/sq, ohm.cm)

规格参数:
-测量范围:1mΩ/□~ 2MΩ/□ (电阻率:10μohm·cm ~ 200Kohm·cm)
-操作方式:操作者只需要将晶片放到平台上,压下手动杆使探针和样品表面接触后,按一下“测量”按钮即可。测量范围和测量数值可自动进行切换。
-四探针探头:测试四探针采用JANDEL公司标准探头,标准接口配置,更换探针非常方便。
-数字显示:测试结果直接通过LCD面板显示
-测试时间:大约3±1秒/点
-电子精度:5mΩ ~ 10KΩ 范围内,电压/电流精度0.5%(环境温度为23℃±1)
-保养和维护:处理系统有着良好的可靠性和高稳定性,采用先进的电路设计,电路板模块易于更换。
-数据下载软件:系统采用RS232接口,可实现数据下载和存储。

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