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AIT 四探针电阻率测试仪

发布者::admin  发布时间: :2016-03-01 12:38  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

CMT-SR1000N四探针面电阻和电阻率测试仪是由韩国标准科学研究院和韩国AIT公司共同开发的,是半导体生产过程中必不可少的设备之一!

主要特点:
-测量晶元、LCD、ITO、太阳能电池、燃料电池的面电阻和电阻率等;
-自动控制接触中心点测量,操作便捷;
-自动测量范围选择;
-LCD屏幕显示测量结果;
_数据通讯接口和软件;

-测量表面电阻和电阻率(ohm, ohm/sq, ohm.cm)

规格参数:
*面电阻测量:
  -测试方法:四探针接触

  -测量范围:1mΩ/□~ 2MΩ/□
  -测量点:中心点
*电阻率测量:
  -测试方法:四探针接触(输入厚度)
  -测量范围:10μohm·cm ~ 200Kohm·cm
  -测量点:中心点
*电流源:
  - 10nA to 100mA
  - DVM 0V to 2,000mV
  - Accuracy: 0.2 %
*测量精度:±0.5%
*四探针:

  - 探针间距: 20 mils ∼ 50 mils
  - 探针载荷范围: 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
  - 探针半径: 12.5 micron ~ 500 micron
*测量软件:
  - Windows 98/XP/NT Version
  - Data save & load
  - Data printout
  - Use RS232C Communication Port
*测量样品:

  -圆形(wafer) : max 8"            
  -方形: max 140 mm × 140 mm

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