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UV纳米压印系统

发布者::admin  发布时间: :2011-09-20 15:08  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

桌面型UV纳米压印系统,专门针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计,配备精密的温度控制和低压控制系统,使用方便,性能稳定可靠;同时配合专业设计的压印模板,可实现各种微纳米图形加工,特征线宽小于10nm;

应用领域:

光学器件,显示器,数据存储,生物技术,半导体芯片,化学合成,先进材料等

技术性能:

*操作方便:对熟悉半导体工艺的人来说,几小时的培训就能完全掌握设备的使用
*未来有大量的升级功能
*客户可根据需求定制设备功能
*用户通过触摸屏来程序化控制处理过程;
*用户可自主设定工艺参数;
*真空吸附模板和Wafer
*具备UV固化功能
*Wafer尺寸:2英寸, 4英寸,6英寸
*模板尺寸:1inch~6inch;
*处理压力:45PSI(可升级到最大100PSI)
*典型压印时间:小于5分钟/wafer

 

 

 附件:纳米压印模板


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