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纳米压印系统

发布者::admin  发布时间: :2011-09-20 15:11  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

桌面型纳米压印机(CNI)作为一款紧凑型设计纳米压印系统,主要用于实现纳米/微米微观结构从模板到样品的复制。同时,CNI 在标准热纳米压印基础上,可升级紫外(UV)纳米压印功能。
基于简洁的操作过程和直观的用户界面,CNI 无需专职技术人员操作管理。任何压印腔室可容纳的模板均可使用。

 

压印线宽最低可达20nm。

 

主要特点:
      -桌面型纳米压印设备:兼容热压印和UV紫外压印模块;
      -便捷实现微观结构的热压印和热压花和微接触印刷工艺;
      -简单直接的操作方式,无需专业训练;单次压印操作仅需8~10min;
      -即插即用,使用方便;
      -专为研发设计;
      -压印过程完全通过计算机程序化控制;
      -随时倾听用户的意见,满足您的各种需求;

 

主要技术指标:
      -热纳米压印温度最高200°C(可升级至240°C);
      -陶瓷模板载具集成温度控制模块,准确控制压印过程温度;
      -紫外纳米压印紫外光波长365nm;
      -压印用压强最大范围:0.3bar-11bar;
      -压印用真空:可低至0.1mbar;
      -模板及样品最大尺寸可达4inch,可升级至8inch;
      -可使用各种规格、形状的模板和样品;


 
附件:纳米压痕模板


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