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产品介绍:

纳米压印系统

发布者::admin  发布时间: :2011-09-20 15:11  浏览次数: :
产品介绍:
详细说明:

桌面型纳米热压印系统,卓越的设计理念,专门针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计,配备精密的温度控制和低压控制系统,使用方便,性能稳定可靠;同时配合专业设计的压印模板,可实现各种微纳米图形加工,特征线宽小于20nm;

主要特点:
1.桌面型设计;
2.热压印技术;
3.模板整合温度控制;
4.快速升温、快速降温,大大缩短热循环加工周期;
5.低压控制技术;
6.自动压入、脱模设计;
7.适用于各种微纳米加工研究(2inch~4inch,其他定制);
8.特征线宽小于20nm;

安装要求:
1.真空0.4 to 0.8 bar(实验室真空要求),流速至少1mL/min;
2.压缩空气或压缩氮气6-10 bar;
3.电源:110-240V (50-60 Hz, larger than 200W);
 
附件:纳米压痕模板


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