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产品名称: 石墨盘温度测量系统
产品介绍:: 技术介绍:系统利用两个温度传感器同时通过MOCVD 设备的可视窗口扫描石墨盘,进行温度测量。在单次测量时,传感器探头从石墨盘中心逐渐扫描到边缘,同时,整个盘以一定转速在旋
 
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