桌面型纳米热压印系统,针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计,配备精密的温度控制和低压控制系统,使用方便,性能稳定可靠;同时配合压印模板,可实现各种微纳米图形加工,特征线宽小于20nm;
主要特点
• 桌面型设计;
• 热压印技术;
• 模板整合温度控制;
• 快速升温、快速降温,缩短热循环加工周期;
• 低压控制技术;
• 自动压入、脱模设计;
• 适用于各种微纳米加工研究(2inch~4inch,其他定制);
• 特征线宽小于20nm;
安装要求
• 真空0.4 to 0.8 bar(实验室真空要求),流速至少1mL/min;
• 压缩空气或压缩氮气6-10 bar;
• 电源:110-240V (50-60 Hz, larger than 200W)。