kSA SpectR是一种用于测量光谱反射率，L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。该工具具有多种在线监控和过程控制的应用功能，包括垂直腔表面发射激光器件（VCSEL），分布式布拉格反射器件（DBR）和其他一些复杂的半导体器件结构。该设备主要应用于监控测量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生产研究。

kSA SpectR的光学镜组被配置为镜面反射的几何形状。在这种测量原理中，薄膜每生长出一个新layer，程序就会自动拟合，将已有的所有基底和薄膜layer视为一个新的虚拟基底。

kSA SpectR可以同时以多个波长进行测量，每个波长都具有潜在的特性。此工具可在客户选定的波长范围内测量自定义光谱特征，如反射率的Min值、Max值、拐点或基线散射水平。

k-Space公司的 CEO Darryl Barlett表示："与我们的许多设备一样，此设备是由特定客户直接定制所研发出来的。当客户来找我们时，我们听取了他们的详细测量要求，然后设计了一个系统，结合了Sandia国家实验室的新技术，根据客户的应用场景研制了该设备。"随着薄膜层的复杂性的提高，为了提高产品的产量和性能，各种材料参数的测量越发重要。该系统有能力在复杂的薄膜结构上进行测量，包括在DBR生长过程中确定Fabry-Perot dip等多种参数。

850 nm DBR的光谱反射率

在GaAs衬底上生长250nm的AlAs和500nm的GaAs时，532和940nm下的反射率及其拟合曲线

AlAs生长期间的生长速率，光学常数和反射率实时拟合曲线

AlAs和GaAs生长的未经校正的高温计测量结果和经过校正的ECP温度

GaAs薄膜生长过程中单个反射率振荡周期图