厂家:k-Space Associates, Inc.
型号:kSA MOS Ultra Scan
kSA MOS Ultra Scan采用非接触 MOS(多光束光学传感) 激光技术;不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行测量,还可对二维应力 Mapping成像统计分析;同时测量应力、曲率随温度变化的关系。
基于kSA MOS 技术,kSA MOS Ultra Scan使用二维激光阵列扫描绘制半导体晶圆、光学镜面、玻璃、透镜等各种抛光表面的二维曲率、翘曲度和薄膜应力分布图。kSA MOS Ultra Scan适用于室温条件下测量需求,实现晶元全自动2D扫描测量,同时获得3D图。
1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围:300mm;2m (可选);二维应力分析
2.扫描速度:可达20mm/s(x,y);
3.XY双向扫描平台扫描步进/分辨率:1 μm;
4.平均曲率分辨率:20km,5×10-5 1/m (1-sigma);
5.薄膜应力测量范围:3.2×106到7.8×1010dynes/cm2(或者3.2×105Pa to7.8×109Pa)(1-sigma);
6.应力测量分辨率:优于0.32MPa或1% (1-sigma);
7.应力测量重复性:0.02MPa(1-sigma);
8.平均曲率重复性:<5×10-51/m (1 sigma) (1-sigma);
9.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全样品扫描;
10.成像功能:样品表面2D曲率成像,定量薄膜应力成像分析;
11.测量功能:曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等;
12.二维激光阵列测量技术:不但可以对样品表面进行二维曲率成像分析;而且这种设计能保证所有阵列的激光光点一直在同一频率运动或扫描,从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响,同时提高测试的分辨率;
1.14位单色CCD检测系统:分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size,有效感光面积18.13mm x 13.6mm,曝光时间可控范围10us to 26.8;
2.激光和光学系统:激光波长660nm(可定制其他波长激光器),激光功率70mW,恒电流运行模式,稳定性≤2%(8小时);带温控的激光控制器(出厂设定温度25°C),温度稳定性<0.2°C;
3.自动光学追踪系统:当进行样品测试时,用来追踪伺服系统而检测来自样品表面反射光;
4.XY方向线性扫描样品台:扫描范围300*300mm;分辨率1um;扫描速度可达20mm/sec.,软件控制;
5.计算机、MOS数据采集和系统控制电路板:Windows 操作系统;
6.测量分析软件:数据采集,系统控制,自动激光光点检测,自动曝光时间检测(避免由于材料表面反射率的强烈变化而引起检测器过载现象),曲率、曲率半径、应力强度、应力、翘曲数据采集和图像显示,您可以选择阵列任意数量激光点进行测试,分析功能:有线剖面分析、统计分析、等高线图分析等,便捷的2D和3D图像显示和调整功能,数据ASCII输出;
光学薄膜应力分布图
表面Patterned试样应力分布图
样品翘曲测量结果