厂家：k-Space Associates, Inc.
型号：kSA ScanningPyro
系统利用两个Pyrometer测温仪同时通过MOCVD设备的可视窗口扫描石墨盘，进行温度扫描测量。在单次测量过程中，整个石墨盘在以一定转速旋转，双Pyrometer探头从石墨盘中心逐步扫描到边缘，这样可以快速地得到整盘的温度分布图。
该系统可安装在Veeco K465i和EPIK700型MOCVD上，或其他品牌类似系统上，实时快速的对石墨盘的整体温度分布进行Mapping测量，分析盘面温度的分布均匀性；有助于客户调整加热区域，改善并优化工艺，以提高产品质量和器件性能。
1.适配 MOCVD 型号：Veeco K465i及EPIK700以及其他品牌类似系统；
2.扫描范围：全盘扫描，自定义部分区域扫描；
3.温度范围：530℃-1250℃（可选更高）；
4.温度分辨率：530-700℃：±1℃；700-1250℃：±0.3℃；
5.扫描分辨率：用户自定义，通常设置为径向扫描步进：1mm，角度分辨率：0.3°或更高；
6.扫描时间：与石墨盘旋转速度有关，例如：盘转速为600rpm，径向扫描步进为1mm 时，整盘扫描时间93s；可预设扫描开始时间或两次扫描时间间隔，以便与薄膜生长状态相关联；
7.温度分析功能：温度2D或3D直观图形显示及统计分析，定义的半径或直径上的径向温度分布，指定半径上的温度分布并与RT数据进行比对，目标区域放大分析，Crosshair径向分析，石墨盘每个pocket温度统计分析（**值，*小值、平均值及标准偏差）;
8.温度校准：既可校准到已知温度设定点，也可使用kSA Spectra Temp温度测温工具校准到绝对温度。
分析界面
注：同一石墨盘相同条件下的发射率与温度对比图
统计界面
