在线X射线荧光膜厚测量仪
厂家：k-Space Associates, Inc.
型号：kSA XRF
技术介绍
对于膜层厚度薄的金属薄膜和介电薄膜，光学方法测量其厚度显得不是很可靠。kSA XRF 系统的推出主要就是为了解决该问题，它可以在线测量许多不同材料基底（例如：玻璃和太阳能电池组件）上的薄膜厚度。
设备详情
• 配备保护性定制框架外壳，放置X射线源和探测器。
• 该设备桥接了输送线，以便于设备安装和工厂用户对系统的访问。
• 当 X 射线源正在使用时，会有警示灯闪烁提示。
• 配备面板的前/后边缘光电检测器，用于触发设备自动启停。
• 柜式控制器提供数据处理及存储功能。
• 配备小型灯塔用于指示检测情况。
产品优势
• 某些薄介电薄膜，光学方法难以测量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在这种情况下，kSA XRF可以实现测量。
• 可在多种基板上测量金属薄膜厚度。
• 实时数据采集，检测薄膜厚度缺陷并进行在线反馈。
• 软件功能可定制，用户可以依据特定要求设置。
• 检测过程中可对质量控制进行验证，以确保涂层厚度在公差范围内。
• 工厂集成功能：使工厂用户能够将计量整合到现有系统（工厂警报、PLC、电子邮件警报等）中。
• 操作便捷，几乎不需要额外设置，只需操作员定期进行设备校准。
工作原理
• 该系统由一个带有高压发生器的 X 射线管和一个 X 射线探测器系统组成。
• 其 X 射线检测系统组合了固态探测器、放大器、脉冲高度分析仪和多通道分析仪。
• 光谱仪能量校准后，系统自动识别 X 射线光谱峰值，并收集峰值强度以进行进一步处理。
• 该工具可根据客户的薄膜配方和测量需求测量对应的原子种类。
软件功能
• 使用专有的 k-Space 软件测量，分析和存储数据。
• 可与现有质量控制系统对接通讯。
• 利用光电检测器的触发器启动和停止数据采集。
• 专为典型的玻璃和太阳能电池板输送速度而设计。
• 完全自动化，能够与工厂自动化通信对接。
• 报警信号可便捷的自定义配置。
• 单个检测头可以放置在面板宽度上的任何位置，并且可选配使用多个检测头。
• 厚度测量范围为 0~500 nm±1 nm，灵敏度和测量不确定度取决于被测元素。
软件截图
