UV紫外/EUV极深紫外激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，覆盖极宽的光谱范围从近红外到软X射线（光谱范围~ 1 …. 1100 nm），检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV/EUV检测的高灵敏度。

配置各种不同类型的传感器（大/小面积、高度、空间分辨率、灵敏度和动态范围）可适配多种指定测试应用场景。软件支持外围器件（如自适应镜片、步进马达、衰减器、快门或者功率检测等），实现远程或者自动测量。

别名：激光束分析仪、光束质量分析仪、光束分析仪、光斑分析仪、光束形貌分析仪、激光束质量分析仪

主要功能

        依据ISO11146 检测光束参数

        依据ISO11670 指向稳定性诊断

        依据ISO13694 分析光束形状

        M²光束质量因子分析

        脉冲 to 脉冲波动检测

        光束传播和聚焦性能分析

        在线激光束检测

        激光运行参数优化

Near‐field and far‐field profile of ArF excimer laser

(193nm), indicating 2nd moment beam widths

主要特点

        宽光谱范围~ 1 …. 1100 nm (NIR, Vis, UV, EUV)

        小面积和大面积CCD传感器可选

        USB3.0 or GigE通讯

        高动态范围（12/14Bit）

光束测试软件

测试基于ISO标准