UV激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV检测的高灵敏度。

主要特点

        UV光束特性分析

                ‐ 准分子激光器 @193nm, 248nm, 351nm

                ‐ 固体激光器 @355nm, 266nm, 213nm

                ‐ UV LEDs, UV/VUV lamps

        宽光谱灵敏度：VUV ‐ DUV ‐ Vis ‐ NIR

        实时光学调节

        基于ISO光束参数测量

        衰减单元（可选）

Homogenized KrF

excimer laser (248nm)

Mask projection of

excimer laser beam

主要技术规格

        波长范围~100nm …1100nm

            （<~320nm:高线性和稳定性的量子转换涂层；<190nm: N2/ Ar purging required）

        视场尺寸：20mmX14mm（其他尺寸可选）

        相机：CMOS 4MPixel, 12 Bit, USB3.0

        帧率：up to 15fps

        曝光时间：20us to 1s

        衰减单元：棱镜衰减器（因子1000：1）

                         中性密度滤片

Near‐field and far‐field

profile of ArF excimer laser

(193nm), indicating 2nd

moment beam widths

Beam profile of

misaligned 355nm laser

Beam Analysis software

光束测试软件

测试基于ISO标准