主要特点
Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射）
紧凑结构
光化性能检测
-EUVL 等离子源
-自由电子激光
-HHG高次谐波束
实时光学调整
单个脉冲重复性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)
技术规格
波长范围：<1nm~60nm（量子转换涂层）
视场：9mmX6.7mm（可选更大尺寸）
动态范围：14Bit
Hartmann 盘：precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch
倾角：±10°
XY调节范围：±10mm
UHV兼容：CF63法兰
Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH
(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after
(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.
Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )
Spot pattern @ λ=1.5 nm
(LCLS / Stanford)
Reconstructed intensity profile
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence发散 | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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