巨力光电（北京）科技有限公司

波前曲率传感器
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波前曲率传感器

产品品牌： PRO
产地类别： 德国
产品型号： NIR/EUV
厂商性质： 代理商
010-57103010
产品详情
彩页介绍

图片22.png


主要特点

        压电驱动微动平台，装配CCD相机

        光束方向快速移动

        临近位置光束剖面/形貌分析

        波前推导CCD像素级分辨

        光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）

        Zernike分析畸变控制

        采用自我参考法

        无光束相干要求

        紧凑式设计，在线检测


操作原理


图片23.png


技术规格

        CCD相机USB3.0通讯

        空间分辨率<10um

        多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        实时波前分析

        测试依据ISO标准


光束测试软件

光束测试软件.png


测试基于ISO标准

Parameter

Standard

Beam diameter光束直径

ISO 11146

Divergence发散

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性

ISO 11670

M2 质量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

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Around 20 various camera types are supported
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