夏克哈特曼波前传感器（Shack-Hartmann Wavefront Sensor, SHWFS）是一种基于子光束分割的波前探测设备，其核心原理是通过微透镜阵列将入射波前分割为大量子光束，每个子光束经微透镜聚焦后在探测器（如 CCD、CMOS）上形成光斑；通过测量光斑相对于无畸变时的偏移量，可反推原始波前的畸变形态（基于几何光学中 “波前斜率与光斑偏移成正比” 的关系）。这种原理使其在实时性、空间分辨率和结构稳定性上具有显著优势。
主要特点
压电驱动微动平台，装配CCD相机
光束方向快速移动
临近位置光束剖面/形貌分析
波前推导CCD像素级分辨
光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）
Zernike分析畸变控制
采用自我参考法
无光束相干要求
紧凑式设计，在线检测
操作原理
技术规格
CCD相机USB3.0通讯
空间分辨率<10um
多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)
实时波前分析
测试依据ISO标准
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence发散 | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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