用于高功率激光器和极深紫外EUV源的光学部件性能综合测量，且性能和参数测量基于ISO国际标准。

别名：弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，高功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光学材料光热效应测量仪

主要特点

        基于ISO11551标准吸收测量

        基于ISO11254标准激光诱导损伤阈值测量

        波前畸变（透镜加热，挤压）

        透射测量

        反射测量

        基于ISO13696散射测量

        衰减（color centers）

        荧光/发光

Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm

可用的辐射源

        高功率准分子激光器

              -351nm、308nm、248nm、193nm、157nm

        固体激光器

              -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脉冲宽度）

              -1070nm光纤激光（500W cw）

              -可调谐OPO：680~980nm+IR-Idler

        激光诱导EUV/XUV源

              -13nm

              -~4nm

Two‐dimensional scatter map

@248nm

Micrographs of laser‐induced damage sites of various laser‐optical materials

光束测试软件

测试基于ISO标准