kSA MOS ThermalScan 薄膜热应力测量系统采用非接触MOS激光技术，不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行测量，还可对二维应力Mapping成像统计分析，同时测量应力、曲率随温度变化的关系。

激光部分和检测器固定在同一框架上，这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响，同时大大提高了测试的分辨率，适合各种材质和厚度薄膜应力分析。

     • 变温设计：采用真空和低压气体保护，温度范围RT-600℃ (多种温度范围可选)；

     • 样品快速热处理功能；

     • 样品快速冷却处理功能；

     • 采用程序化闭环温度控制器和阵列卤素灯加热器，保证**的温度均匀性和精度；

     • 应力VS.温度曲线；

     • 曲率VS.温度曲线；

     • 程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描；

     • 成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；

     • 测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等；

     • 客户可定制气体（氮气、氩气和氧气等）Delivery系统；

     • 可采用泵入液氮冷却,*低可达-30℃。

     • 二维薄膜应力和曲率分析；

     • 均匀的温度场，可准确spatially-resolved应力测量；

     • 快速热处理和温度处理。

     • 温度范围：RT-600℃ (面扫)；RT-1000℃ (线扫)；

     • 温度均匀性：当样品在稳定的温度下测量时，在中心80％的样品上的温度优于±2℃；

     • 平均曲率重复性：小于5×10-5（1/m）（1-sigma）;           

     • 应力测量范围：1MPa~7.8GPa；

     • 应力测量重复性：0.32 MPa2；

     • 真空腔室真空度: 750mTorr（~1mPa）。

型号选择

玻璃上镀SiN应力测试结果350°C

玻璃上镀SiN曲率测试结果80°C

玻璃上镀SiN曲率测试结果350°C

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