涂层/薄膜应力测量系统（kSA MOS Coating Stress tester,薄膜应力测试仪）采用非接触MOS激光阵列技术；不但可以对样品表面应力分布进行统计分析，而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析；并且这种设计可以保证所有阵列的激光光点一直在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响；同时提高了测试的分辨率；适合各种材质和厚度薄膜应力分析。
典型用户：Harvard University 2套，Stanford University，Johns Hopkins University，Brown University 2套，Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，西安交通大学等）、中国计量科学研究院、中科院上海微系统所、中科院上海技物所、中科院半导体所、重庆26所、半导体制和微电子造商（如IBM.，Seagate Research Center, Phillips Semiconductor, NEC，Nissan ARC, Nichia Glass Corporation）。
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技术参数
1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：300mm；2m （可选）；二维应力分析
2.扫描速度：可达20mm/s（x,y）；
3.XY双向扫描平台扫描步进/分辨率：1 μm；
4.平均曲率分辨率：20km，5×10-5 1/m (1-sigma)；
5.薄膜应力测量范围：3.2×106到7.8×1010dynes/cm2（或者3.2×105Pa to7.8×109Pa）(1-sigma)；
6.应力测量分辨率：优于0.32MPa或1% (1-sigma);
7.应力测量重复性：0.02MPa(1-sigma)；
8.平均曲率重复性：<5×10-51/m (1 sigma) (1-sigma)；
9.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全样品扫描；
10.成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；
11.测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等；
12.二维激光阵列测量技术：不但可以对样品表面进行二维曲率成像分析；而且这种设计能保证所有阵列的激光光点一直在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响；同时提高了测试的分辨率；
主要配置
1.12位单色CCD检测系统：分辨率 1360 x 1024 pixels (1.4MP), 6.45μm pixel size；有效感光面积8.8mm x 6.6mm；曝光时间可控范围10us to 77.3s；
2.激光和光学系统：激光波长660nm(可定制其他波长激光器)，激光功率70mW，恒电流运行模式，稳定性≤2%（8小时）；带温控的激光控制器（出厂设定温度25°C），温度稳定性<0.2°C；
3.自动光学追踪系统：当进行样品测试时，用来追踪伺服系统而检测来自样品表面反射光；
4.XY方向线性扫描样品台：扫描范围300*300mm；分辨率1um；扫描速度可达20mm/sec.，软件控制；
5.计算机、MOS数据采集和系统控制电路板：Windows 操作系统；
6.测量分析软件：数据采集，系统控制，自动激光光点检测，自动曝光时间检测（避免由于材料表面反射率的强烈变化而引起检测器过载现象），曲率、曲率半径、应力强度、应力、翘曲数据采集和图像显示，您可以选择阵列任意数量激光点进行测试，分析功能：有线剖面分析、统计分析、等高线图分析等，便捷的2D和3D图像显示和调整功能，数据ASCII输出；
